此機器為，當太陽能電池從擴散站製程出來後 , wafer的側邊也會因擴散原理沉積一些磷(P)在上面,這會使得太陽能電池形成短路現象,因此必須使用此一機台將wafer側邊的磷沉積物以電漿清洗的方式將其清除 , 如果以生活的比喻來說,就是將吐司片的褐色吐司邊切除掉.
Dry etching machine
其他類
2004
金屬
當太陽能電池從擴散站製程出來後 , wafer的側邊也會因擴散原理沉積一些磷(P)在上面,這會使得太陽能電池形成短路現象,因此必須使用此一機台將wafer側邊的磷沉積物以電漿清洗的方式將其清除 , 如果以生活的比喻來說,就是將吐司片的褐色吐司邊切除掉.
更新日期：1/13/2026 1:29:50 AM