質量流量控制器(MassFlow Controller)功能為氣體分析時氣體流量控制用。
氣體：空氣(AIR) 流量：10000 sccm。為美國製造，製造商為BROOKS。
質量流量控制器的原理為利用熱感溫差、非接觸方式量測氣體之質量流速。此設備代表台灣早期度量衡相關量測工具與量測產業發展器具，見證90年代我國量測用科技文化產業發展技術與產業之演變，具有歷史價值，表徵產業發展的文物，可做為我國度量衡相關量測工具與科技文化資產之研究。
MassFlow Controller
電子類
1995
BROOKS
金屬
氣體分析時氣體流量控制
氣體：空氣(AIR) 流量：10000 sccm
更新日期：1/13/2026 1:29:49 AM