計量型三軸掃瞄器控制器(Three-axis Controller of Metrological Scanning Probe Microscope)功能為表面形貌量測位移控制 Pitch size ranges from 100 nm to 10 μm。為美國製造，製造商為台灣威科儀器。
計量型三軸掃瞄器控制器功能為用來連接控制計量型原子力顯微鏡三軸計量平台之三軸方向移動。此設備代表台灣早期度量衡相關量測工具與量測產業發展器具，見證80-90年代我國量測用科技文化產業發展技術與產業之演變，具有歷史價值，表徵產業發展的文物，可做為我國度量衡相關量測工具與科技文化資產之研究。
Three-axis Controller of Metrological Scanning Probe Microscope
電子類
1999
台灣威科儀器
金屬
表面形貌量測位移控制
Pitch size ranges from 100 nm to 10 μm
更新日期：1/13/2026 1:29:49 AM