多功能掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope)功能為表面形貌圖樣分析：
1.Scanning mode: AFM, LFM, EFM, MFM, Phase, Force, Litho.。
2.Scanning range (X, Y, Z): 80 μm × 80 μm × 5μm以上(含)。
3.Scanning Resolution (X, Y, Z): X,Y:小於1 nm，Z 小於0.1 nm。
為美國製造，製造商為QUESANT INSTRUMENT CPRPORATION製造。
多功能掃描探針顯微鏡其原理為掃描顯微鏡上之探針，藉由Z軸壓電陶瓷之作動搭配XY雙軸移動平台之移動，進行掃描光柵待校件之表面形貌圖像。後續再藉由光柵圖像進行線距分析。此設備代表台灣早期度量衡相關量測工具與量測產業發展器具，見證90年代我國量測用科技文化產業發展技術與產業之演變，具有歷史價值，表徵產業發展的文物，可做為我國度量衡相關量測工具與科技文化資產之研究。
Scanning Probe Microscope
光學類
2003
QUESANT INSTRUMENT CPRPORATION
金屬
表面形貌圖樣分析
1.Scanning mode: AFM, LFM, EFM, MFM, Phase, Force, Litho.。
2.Scanning range (X, Y, Z): 80 μm × 80 μm × 5μm以上(含)。
3.Scanning Resolution (X, Y, Z): X,Y:小於1 nm，Z 小於0.1 nm。
更新日期：1/13/2026 1:29:49 AM