雙軸移動台和晶片樣本真空吸盤座(Double-axis Moving Stage and Vacuum Chuck)功能為表面形貌量測移動及樣本固定操作用，Pitch size ranges from 100 nm to 10 μm。
雙軸移動台和晶片樣本真空吸盤座使用原理是利用雙軸移動平台來進行待校件與掃描探針之定位，而樣品真空吸盤係用來固定待校件。此設備代表台灣早期度量衡相關量測工具與量測產業發展器具，見證80年代我國量測用科技文化產業發展技術與產業之演變，具有歷史價值，表徵產業發展的文物，可做為我國度量衡相關量測工具與科技文化資產之研究。
Double-axis Moving Stage and Vacuum Chuck
機械類
1999
台灣威科儀器
金屬
表面形貌量測移動及樣本固定操作用
Pitch size ranges from 100 nm to 10 μm
更新日期：1/13/2026 1:29:49 AM